Verdampfersystem für 2 oder mehr Precursor

Sollen für einen Abscheideprozess mehrere Elemente abgeschieden werden die als Flüssigkeit vorliegen, so können die Verdampfersysteme auch für 2 oder mehrere flüssige Precursor ausgelegt werden. 2 oder mehr Verdampfern die in einem System integriert sind werden dann auch von einer gemeinsamen Steuerung betrieben und überwacht. Auch hier besteht die Möglichkeit aus 1 Verdampfer mehrere Verbrauchsstellen zu versorgen. Zusammen bietet dies gegenüber anderen Konstruktionen die Möglichkeit zum Einsparen von Bauteilen, Steuerungselementen und Montageraum. In der Summe wird man damit die Kosten senken.