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RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
Über dieses Produkt
Besuchen Sie die ProduktseiteVakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis zu 4 Massendurchflußregler für die Gasversorgung
Angepasster Gaseinlaß für optimale Verteilung
Druckmessung je nach Anforderung mit kapazitiver Meßröhre oder Widerstandsmanometer (Pirani)
Einkopplung der HF-Leistung mittels von AURION selbst konzipierter und gebauter Impedanz-Anpassungsnetzwerke mit automatischem Tuning
Power-Split (bei mehreren Kathoden)
DC-Bias-Regelung für gleiches Bias-Potential auf mehreren Kathoden
Wahlweise halbautomatische oder PC-Steuerung inklusive Rezeptverwaltung und Datalogging
GeprüftAurion Anlagentechnik GmbH
Am Sandborn 14, DE-63500 Seligenstadt
Lieferung: Weltweit
Gegründet: 1996
Mitarbeiter: 10-19
Lieferantentyp
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DIN EN ISO 9001:2015
Aurion Inline Sputtering System B VPA 26
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